- Edge부위가 두께가 있으면서 Chamfer가 진 경우
- 검출 하려는 부위가 Round진 경우
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개요
3차원 측정기란, 피 측정물의 형상을 검출하는 Probe(탐침기)가 3차원 공간을 이동하여 측정 부위의 X,Y,Z 공간 좌표 값을 검출하고 이를 Software에 의해 미리 마련된 각종 기하학적 형체 즉, 점, 선, 원, 면 등으로 자유롭게 구성하여 그 결과를 출력하거나 또는 이들 형상 간의 상관관계, 예를 들면 선 폭, 원간 거리, 선간 각도 등을 조합 계산하여 Spec In/Out 결과를 출력, 판정하는 좌표 측정기(CMM: Coordinate Measuring Machine) 를 말합니다. 통상 형상의 좌표 검출을 위해 사용되는 Probe가 제품 표면에 직접 접촉하는지 여부에 따라 접촉식과 비 접촉식으로 분류됩니다.
| 접촉식 | 비 접촉식 |
|---|---|
| Probe를 제품에 일정한 압력으로 접촉시킬 때 발생하는 Timing Pulse에 의해 그 위치 신호가 입력되어 좌표 값이 검출 | CCD 카메라와 광학 렌즈, 그리고 조명을 이용하여 촬상된 아날로그 이미지를 Image Processing Unit (화상처리 장치)가 디지털 이미지로 변환 후 경계의 명암 차이 (Gray Level)를 이용 검출한 Edge의 Pixel 좌표와 장비에 부착된 XYZ Scale 값을 합산하여 공간상의 좌표 값을 검출해냅니다. |
핵심기술
Linear Motor Drive system
- 높은 신뢰성 (장비 폐기 때까지 교체 불필요)
- No Contact between moving parts
- No Brushes or parts that wear
- No Backlash / Hysterisi
- 빠른 구동 속도
- Up to 4x throughput improvement
- Closed loop servo control
광학 Fixed Lens System
| Fixed Lens BW Camera | Zoom Lens Color Camera |
|---|---|
영상 화질, 일관성, 속도 우수 |
배율 변환의 편리성 우수 |
| Fixed Lens | Zoom Lens | |
|---|---|---|
| Convenient | Lower | High |
| Quality | High | OK |
| Speed | High | Medium-Low |
| Cost | Varies | Varies |
| Consistency | High | Low |
단일 광학계 + 디지털 줌
듀얼 광학계 (Option)
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Multi-Color LED 특수 환형 조명 장치-1
| 조사각도 자동제어 (10˚ ~ 75˚) |
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| 4분할 자동제어(전,후,좌,우) |
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Multi-Color LED 특수 환형 조명 장치-2
Ronchi-Grid 특수 표면 Z축 자동 초점 장치-1
- 특수표면 Z축 측정 장치 (반복정밀도 ≤1um )
- 난반사, 투명한 면, 반사가 거의 일어나지 않는 면 (거울,유리,실리콘,세라믹, S/R 표면 등) 제품 표면에 액정 Grid bar를 인위적으로 형성해서 생긴 Contrast를 이용하여 자동 초점
Ronchi-Grid 특수 표면 Z축 자동 초점 장치-2
Software
VMS-기본 측정 Software
- 그래픽 아이콘을 이용한 쉬운 프로그래밍
- 변수, 함수 조건문을 이용한 강력한 고급 프로그래밍
- 경계 검출 도구 속성을 매개변수화하여 Weak Edge(흐린 경계) 검출 및 Noise 및 Burr 제거 등을 최소 10:1, 최대 50:1의 Sub-Pixel 정확도를 기반으로 측정 결과 제공
- 다양한 Image Processing 기능 제공
자동 조명 제어 알고리즘
- 조명 밝기 차이에 의한 Data Correlation 발생 솔루션
- 선택한 일정 면적 내에 히스토그램 실행
(Gray Level 분포도 조사) - 자동으로 최적의 조명 밝기 조절
- 장비간 조명 차이 해결, 제품 표면의 반사율 차이 보상
브럽 (Blob) 검출 알고리즘
- Finder 내에 존재하는 규칙/불규칙 형상의 개수 & 크기(면적) 검출
- Defect 검출 및 Blob의 위치 좌표화
- 형상이 정확한 위치에 있지 않더라도 추적하여 측정 가능
- VIEW Image Processing 기능과 연동하여 측정과 동시에 Particle, Defect 검출과 같은 결함 검사
- 소형 제품(Solderball, MLCC 등) 별도의 Fixture 고정 없이 무작위로 배열하여 측정
Area Multi-Focus (AMF)
- Video Auto Focus 기능을 이용한 3D Image 구현
- F.O.V내에 있는 다수의 형상에 대한 높이 or 깊이를 한번의 Focus 로 처리
- Flatness, Roughness, Height & Volume 측정에 사용 가능
3-D Surf Analysis Software
Element Software - CAD 기반 programming
- 수백 또는 수천 개의 형상이 규칙 또는 불규칙적으로 배열된 제품 측정 대응 방안
- Element Software에 의한 CAD file을 Import함으로서 수동 형상 정보 입력 불필요
- CAD data를 이용 프로그래밍 과정 없이 자동 측정 실행
- 한 FOV 내의 다수 형상 동시 측정
- 측정결과를 Text, Excel 파일로 전송
- 측정결과를 분석하여
- Location에 대한 Scatter 차트 제공
- Size에 대한 Histogram 그래프 제공
SPC Software
Continuous Image Capture(CIC)
- Strobe 조명을 이용하여 Stage 정지 없이 제품 연속 측정
- 압도적인 측정 생산성(최대 500% 향상)
- 연속 이미지 캡처 중 VIEW Image Processing 결합으로 빠른 속도로 역설계 및 Inspection
- 프로그램 로딩 후 별도의 어려운 작업 없이 실행 버튼 한번으로 Inspection
TTL Laser
- Laser Auto-Focus에 의한 고속 측정
- Scanning mode에 의한 3차원 표면형상 측정
- 높이, 깊이, 경사 각도 및 체적 계산 - 모든 측정 후 XYZ data 출력 가능
- 높은 반복 정도 (Sub-micron)
Confocal Laser (Rainbow Porbe)
View WL(White Light) Interferometer
- 백색광의 간섭무늬 현상을 이용해서 대상물의 표면 높이값 측정
- 대상물의 특정 지점에 반사된 빛과 기준의 되는 Reference 빛의 위상 차이를 계산하는 원리로 3D 데이터 검출
